ECMA-E21310RS,ECMA-E21310RS,随着世界能源供应的日趋紧张，可再生能源光伏产品发展迅猛，张经理 182 019 88 309 资料Q 8788 56087技术支持据行业统计2005年全国太阳能电池产能为300MW，到 2007年已发展到1000MW，到2010年我国太阳能电池/组件产能将达到5000MW以上，显示出对单晶和多晶硅有很大的市场需求，比原来的市场预期提前了10年以上，也预示出单晶硅炉的市场需求将成倍增长。单晶硅炉是半导体材料直拉法晶体专用设备，其硅单晶棒料经切割等后续工艺处理成芯片被制作为二极管.太阳能电池.集成电路等半导体材料的主要器件。近几年来由于国际能源危机及地球环境改善带来对新能源，可再生能源的巨大需求，光伏产业出现前所未有的增长，半导体硅材料的生产又进入新的发展期，因此大力加速发展可再生能源.硅光伏产业及共基础材料---高纯半导体硅（单晶.多芯片）材料已成为当务之急，而硅材料的生长离不开单晶硅炉和多晶硅炉的设备支持。张经理 182 019 88 309 资料Q 8788 56087技术支持
二、单晶硅炉的工艺流程简介、技术需求及方案的分析
2-1、单晶硅炉的工艺流程简介
单晶硅炉炉的组成组件可分成四部分
（1）炉体：包括石英坩埚，石墨坩埚，加热及绝热组件，炉壁
（2）晶棒及坩埚拉升旋转机构：包括籽晶夹头，吊线及拉升旋转组件
（3）气氛压力控制：包括气体流量控制，真空系统及压力控制阀
（4）控制系统：包括侦测感应器及电脑控制系统
加工工艺：
加料→熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长
（1）加料：将多晶硅原料及杂质放入石英坩埚内，杂质的种类依电阻的N或P型而定。杂质种类有硼，磷，锑，砷。
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